“常溫25℃測試、低溫-55℃測試、高溫125℃測試，還有-55℃～125℃循環測試5次。”近日，長江日報記者在湖北省集成電路產業計量測試中心看到，一塊塊集成電路板在“冰柜”和“火爐”之間來回“煎熬”，經歷著不同溫度下的嚴苛篩選。

湖北省集成電路產業計量測試中心最近通過驗收，成為全國第一家省級集成電路產業計量測試中心。

具有自主知識產權的測試設備攻關微納米尺度下精密測量技術。長江日報記者 劉斌 攝

集成電路領域計量基礎能力建設走在全國前列

記者獲悉，湖北省集成電路產業計量測試中心由中國船舶集團第七〇九研究所籌建，通過考核驗收并獲批成立，標志著湖北省在集成電路領域計量基礎能力建設走在全國前列，服務經濟社會發展的能力水平有了新的突破。

集成電路產業屬于國家十大重點產業“新一代信息技術產業”領域，俗稱“芯片”產業，是信息技術產業的核心，是支撐經濟社會發展和保障國家安全的戰略性、基礎性和先導性產業。

湖北省目前擁有芯片設計、芯片制造、封裝材料等相關企業200多家，是國家集成電路產業四大集聚區之一。集成電路產業也是武漢大力發展的重點產業之一。2022年1月，武漢市發布了《關于促進半導體產業創新發展的意見》，到2025年，武漢市的芯片產業產值將超過1200億元。

作為集成電路的“主產地”，武漢光谷正在形成一個完整的集成電路產業鏈，包括材料、設計、制造、封裝測試和應用完成等環節。

湖北省集成電路產業計量測試中心相關負責人介紹，該中心建設目的在于找到并解決集成電路產業發展過程中核心關鍵參數的測量問題，解決“測不了、測不全、測不準”的痛點難點，保障集成電路產業的高質量發展。

省、市市場監管局相關負責人表示，作為重要的計量技術資源，該中心可以為湖北省內及周圍省市集成電路相關企業的產業發展提供專業、高端計量檢測服務和科技創新服務平臺，可縮短產品的檢測、研發和生產周期，助力武漢建設具有全國影響力科技創新中心。

具有自主知識產權的測試設備攻關微納米尺度下精密測量技術。長江日報記者 劉斌 攝

攻關微納米尺度下精密測量技術

記者在湖北省集成電路產業計量測試中心看到，由中國船舶集團第七〇九研究所自主研發的四探針測試系統上，設備正在進行最后階段的性能調試，對晶圓的鍍膜厚度進行檢測試驗。

晶圓是指集成電路生產制造所用的高純度硅晶片，是生產集成電路所用的載體，集成電路工藝生產中對晶圓的鍍膜厚度最小可接近10納米，僅為一根頭發絲直徑的1/6000。工藝檢測設備不僅要測得出，還要測得準。

該中心計量科研工程師介紹，四探針測試系統用于監控半導體工藝制程中電阻率、金屬薄膜厚度等參數，縮小國產四探針測試設備與進口產品在自動化程度、測試精度、測試速度等方面的差距。除支持現階段主流6英寸—12英寸晶圓測試，還可兼容未來更先進的18英寸晶圓，是半導體工藝生產中的重點檢測設備之一。

集成電路測試的一些項目包括外觀檢查，常溫及低溫、高溫等不同條件下判斷元器件是否能達到正常性能參數等檢測項目。該中心檢測組負責人舉例，手機在熱得發燙的情況下還能正常運轉，就要求其中的集成電路板或者芯片事先通過嚴格檢測。

晶圓鍍過膜后明亮如鏡。長江日報記者 劉斌 攝

全國集成電路測試系統計量服務近七成由這里提供

據悉，全國集成電路測試系統的計量服務近七成由位于武漢光谷的該中心提供。

該中心通過開展集成電路關鍵參數測試技術等研究，“磁吸”一批龍頭企業、高校、科研機構、設備制造商、其他計量技術機構等群體，形成集成電路產業技術聯盟，向全國范圍輻射。近年來為國內120余家單位提供集成電路測試系統計量服務。

中心建立了多項集成電路參數最高計量標準，集成電路測試能力處于國內第一梯隊，具備處理器、存儲器等高性能集成電路測試能力，現有計量能力覆蓋國內在用集成電路測試系統90％以上。

該中心成立后，可為湖北省乃至中部地區各類芯片提供全產業鏈、全生命周期、全溯源鏈和前瞻性的計量測試服務，助力打造萬億級光電子信息產業，同時支撐集成電路產業高質量發展。